Jonų{0}}Plonasluoksnio nusodinimo sistema

Jonų-Plonosios plėvelės nusodinimo sistema sujungia kelių-kišeninių elektronų-spindulį / terminį garavimą su didelio-našumo End-Hall arba Kaufman-tipo jonų šaltiniu. Fizinio nusodinimo garais (PVD) metu energetinis jonų bombardavimas perduoda impulsą tiesiai į adatomus ant substrato paviršiaus, pašalinant stulpelių mikrostruktūros tuštumas ir susidaro didelio tankio, aplinkai stabilios plonos plėvelės.

Sukurta tiksliosios optikos gamybai, puslaidininkių mikroelektronikai ir pažangioms MTTP priemonėms, ši platforma užtikrina griežtą sudėtingų optinių trukdžių filtrų, kietų apsauginių dangų ir puslaidininkių pasyvavimo sluoksnių partijos{0}}į-pakartojamumą.

Momentum{0}}Patobulinta mikrostruktūra:Kontroliuojama jonų pagalba padidina adatomo paviršiaus mobilumą, efektyviai slopindama porėtą stulpelio pavidalo grūdelių augimą ir pašalindama lūžio rodiklio pokyčius, atsirandančius dėl drėgmės sugėrimo.

Dviejų{0}}kanalų storio atsiliepimai:Integruoti dvigubi kvarco kristalų mikrobalanso (QCM) zondai kartu su plačiajuosčio optinio stebėjimo (BOM) prievadais, kad būtų galima reguliuoti -nanometrų-skalės storį ir greitį realiuoju laiku.

Itin švari-vakuuminė kamera:Pagaminta iš 304 l nerūdijančio plieno su vidine elektro{1}}poliruota apdaila, metaliniais-sandariais PVM sklendėmis ir pneumatiniais metaliniais{3}}tarpikliais, siekiant sumažinti dujų išsiskyrimą.

Uždarosios{0}}ciklos reaktyviųjų dujų reguliavimas:Didelio- tikslumo masės srauto valdikliai (MFC) matuoja reaktyviojo deguonies, azoto ir argono dujas su sub-sccm skyra, kad apsaugotų stechiometrinius junginių sluoksnius.

Grubimo linija:Hermetiškai sandarūs, be alyvos{0}}dry scroll siurbliai pašalina angliavandenilių užteršimo riziką šiurkštumo ir priekinės linijos stadijose.

Aukšto vakuumo integracija:„Maglev“ turbomolekuliniai siurbliai, tiesiogiai sujungti su pagrindine kamera per didelio-laidumo pneumatinius sklendes, padidina proceso ir likutinio vandens garų siurbimo greitį.

Vakuuminė diagnostika:Pertekliniai Pirani ir šaltojo katodo matuokliai užtikrina nuolatinį, kryžminį{0}}kalibruotą slėgio registravimą nuo atmosferos iki 10⁻⁷ Pa.

Garinančios medžiagos:Dielektriniai oksidai: SiO₂, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, HfO2, Al2O3

Fluorai:MgF₂, LaF3

Ugniai atsparūs metalai:Au, Ag, Al, Ti, Cr, NiCr

Substrato potipiai:Optinio stiklo ruošiniai (BK7, lydytas silicio dioksidas, kvarcas), puslaidininkinės plokštelės (silicis, GaAs), vieno -kristaliniai substratai (LiNbO₃, safyras) ir tikslūs metaliniai komponentai.

Tiksli optika:Siaurajuosčio bangos ilgio-dalijimo tankinimo (WDM) filtrai, lazeriniai linijų veidrodžiai ir patvarios anti-atspindys (AR) dangos, skirtos didelės-galios lazerinėms sistemoms.

Puslaidininkių gamyba:Vartų oksido dielektrikai, metaliniai sukibimo sėklų sluoksniai ir drėgmės{0}}pasyvavimo barjeras.

Pažangi optoelektronika:Plonos{0}}plėvelės poliarizatoriai, bangolaidžio apvalkalo sluoksniai ir skaidraus laidžiojo oksido (TCO) liečiamosios{1}}plokštės plėvelės.

Kameros korpusai:Vertikalios cilindrinės varpinės-stiklainės, dvigubos-durų kvadratinės dėžutės konfigūracijos arba švarios patalpos praėjimo-konstrukcijos.

Šaltinio moduliškumas:Pasirinktinis tiglio kišenių skaičiavimas, antrinio magnetroninio purškimo katodo integravimas arba specializuotos RF poslinkio galios sąrankos.

Automatikos architektūra:Pritaikyta PLC blokavimo logika, SCADA saugos leidimų pakopos ir SECS/GEM prieglobos duomenų{0}}registravimo protokolai.

Komponento patvirtinimas:Visi konstrukciniai flanšai, vakuuminiai įvadai, galios elektronika ir masės srauto reguliatoriai prieš surinkimą yra išbandomi individualiais matmenimis ir elektriniu stendu.

Nuotėkio sertifikatas:Surinktose kamerose atliekamas helio masės spektrometro sandarumo bandymas; atmetimo slenkstis turi likti mažesnis nei 1,0 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.

Gamyklinis priėmimo bandymas (FAT):Privalomas 72-valandžių nepertraukiamo sauso veikimo-patvirtinimas, apimantis siurbimo kritimo kreives, kelių-ašių planetų sukimosi mechaniką, blokavimo saugos kilpas ir elektroninio spindulio pistoleto emisijos stabilumą.

Dokumentacija:Laivai su mechaninio surinkimo brėžiniais, elektros schemomis, P&ID išdėstymais, PLC loginių šaltinių registrais ir prevencinės priežiūros vadovais.

Eksploatacijos pradžia-:Lauko priežiūros inžinieriai vadovauja mechaninei padėties nustatymui, komunalinių paslaugų (maitinimo, aušinimo vandens, suslėgto oro) prijungimui ir pradiniam sistemos išjungimui{0}}.

Proceso mokymas:Apima pradinio kalibravimo paleidimus, jonų šaltinio parametrų derinimą ir operatoriaus saugos protokolo mokymą.

Gyvavimo ciklo priežiūra:Nuotolinis diagnostikos palaikymas naudojant šifruotus VPN modulius, regioninį atsarginių dalių sandėliavimą ir suplanuotus kalibravimo auditus.