Produkto apžvalga
IAE-Series Jonų-Plonosios plėvelės garinimo įranga sujungia fizinį nusodinimą iš garų (PVD) su realiu-laiku bombardavimu jonų pluoštu. Nukreipdama energetinius jonus į substratą terminio ar elektronų -spindulio garavimo metu, sistema perduoda impulsą kondensuojantiems adatomams, pertvarkydama augančios plėvelės mikrostruktūrą.
Šis kinetinės energijos perdavimas pašalina stulpelių tuštumas, slopina drėgmės sugėrimą ir užfiksuoja lūžio rodiklį nuo aplinkos drėgmės pokyčių. Sukurta nepertraukiamai kelioms{1}}pamainoms optinių ir puslaidininkių gamybos linijose, platforma tvarko substratus nuo didelio-tikslumo lazerinės optikos iki silicio plokštelių.
-
![Jonų{0}}Vakuuminio garinimo įranga]()
Jonų{0}}Vakuuminio garinimo įrangaJonų-vakuuminio garinimo sistema sujungia aukšto-vakuuminio šiluminio ar elektronų{2}}pluošto garavimo šaltinius su Kaufman-tipo arba End-Hall jonų šaltiniu. Bombarduojant augančią plėvelę...Peržiūrėti daugiau -
![Jonų{0}}Plonasluoksnio nusodinimo sistema]()
Jonų{0}}Plonasluoksnio nusodinimo sistemaJonų-Plonosios plėvelės nusodinimo sistema sujungia kelių-kišeninių elektronų-spindulį / terminį garavimą su didelio-našumo End-Hall arba Kaufman-tipo jonų šaltiniu. Fizinio nusodinimo garais...Peržiūrėti daugiau -
![Jonų pluošto garinimo įranga]()
Jonų pluošto garinimo įrangaIBAE sistema sujungia elektronų-spindulį arba terminį garavimą su integruotu plataus-pluošto jonų šaltiniu. Vienu metu vykstant jonų bombardavimui plėvelės augimo metu kinetinė energija perduodama...Peržiūrėti daugiau -
![Jonų{0}}Plonasluoksnio nusodinimo įranga]()
Jonų{0}}Plonasluoksnio nusodinimo įrangaIA-serijos jonų-pagalbinė plonasluoksnio nusodinimo įranga integruoja elektronų-spindulio terminį garinimą su Kaufmano arba End-Hall jonų šaltiniu. Energetinis jonų bombardavimas (argono/deguonies...Peržiūrėti daugiau -
![Jonų-Plonasluoksnė išgarinimo sistema]()
Jonų-Plonasluoksnė išgarinimo sistemaJonų -Pagalbinio išgarinimo (IAE) plonasluoksnė sistema sujungia fizinį garų nusodinimą (PVD) su energetiniu jonų pluošto bombardavimu. Šiluminio ar elektronų{2}}pluošto garinimo metu pagalbinis...Peržiūrėti daugiau -
![Jonų-Plonasluoksnė garinimo įranga]()
Jonų-Plonasluoksnė garinimo įrangaPramoninio-laipsnio jonų-pagalbinio garinimo (IAE) sistema, integruojanti kelių-kišeninių elektronų-pluoštų garavimą su energetinio jonų pluošto šaltiniu (pabaigos-Hall arba Kaufman...Peržiūrėti daugiau
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacija |
|
Galutinis bazinis slėgis |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Garavimo šaltiniai |
Daugia-kišeninis E-spindulių pistoletas (4 × 15–40 cc) ir varžiniai šilumos šaltiniai |
|
Jonų šaltinio tipas |
Gridless End-Hall / Kaufman-tipo jonų šaltinis (spindulio įtampa: 50–1500 V, jonų srovė: 0,1–3 A) |
|
Plėvelės storio kontrolė |
Kvarcinių kristalų mikrobalansas (QCM) + Optinė stebėjimo sistema (OMS), tikslumas ± 0,1 nm |
|
Pagrindo tvirtinimas |
Planetos sukimosi įtaisas, kupolo spindulys pritaikytas pagal substrato geometriją |
|
Pagrindo šildymas |
Spindulinio šildytuvo masyvas, iki 350 laipsnių su ± 2 laipsnių PID vienodumu |
|
Valdymo architektūra |
PLC + pramoninis kompiuteris, automatizuotas receptų vykdymas, SECS/GEM suderinamas duomenų registravimas |
Jonų{0}}Pagalbinis nusodinimo procesas
Garų generavimas:
Medžiaga išgarinama iš e-spindulio tiglio arba terminio laivo kontroliuojamu nusodinimo greičiu (0,1–2,0 nm/s).
01
„Momentum“ perkėlimas:
Energetiniai jonai (Ar⁺, O⁺) bombarduoja substrato paviršių kartu su garų srautu, gaunamu iš E-spindulio arba šiluminio šaltinio.
02
Mikrostruktūros modifikavimas:
Jonų smūgis padidina adatomo paviršiaus mobilumą, neleidžia augti stulpeliniams grūdams ir pasiekia beveik -tūrinį tankį (pakavimo tankis > 99 %).
03
Stechiometrinė korekcija:
Reaktyviųjų jonų pagalba (O₂) užtikrina visišką sub- oksidų oksidaciją metalo oksido plėvelėse (pvz., Ta2O5, Nb₂O5, SiO₂), pašalindama UV-NIR spektro sugerties juostas.
04
Filmų medžiagos
Oksidai:
SiO₂, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2 (didelis optinių filtrų lūžio rodiklio stabilumas).
Fluorai:
MgF₂, LaF3 (mažo lūžio rodiklio sluoksniai plačiajuosčio ryšio AR dangoms).
Metalai:
Al, Ag, Au, Ti (Sukibimo sluoksniai ir metaliniai atšvaitai).
Programos
Lazerinė ir tiksli optika:
Juostos pralaidumo filtrai, dichroiniai veidrodžiai ir lazerinės apsauginės dangos, kurioms reikalingas aukštas lazerio{0}}sukeltos žalos slenkstis (LIDT) ir nulinis spektrinis poslinkis esant šiluminiam įtempimui.
LiDAR dengiantis stiklas:
Patvarios anti-atspindinčios (AR) ir -neužterštos plonos plėvelės, atsparios atšiauriems lauko oro sąlygoms.
Puslaidininkinė pakuotė:
Drėgmės{0}}apsaugos sluoksniai ir metalinės kontaktinės pagalvėlės, nusodinamos esant žemai pagrindo temperatūrai.
Biomedicininiai jutikliai:
Biologiškai suderinamos optinės trukdžių dangos, skirtos diagnostiniams mikrofluidiniams lustams.
Tinkinimas
Kameros ir vidinis išdėstymas yra suprojektuoti atsižvelgiant į konkrečius gamybos pėdsakus ir proceso reikalavimus:
Kameros matmenys:
Galima keisti nuo R=600 mm R&D vienetų iki R=1200 mm{2}} didelės talpos gamybos sistemų.
Siurbimo paketai:
Konfigūruojama naudojant Maglev turbomolekulinius siurblius, kriosiurblius ir „Roots“ orapūtės atramines linijas, atsižvelgiant į dujų apkrovos reikalavimus.
Šaltinio integravimas:
Dviejų-jonų šaltinių konfigūracijos arba ko-nusodinimo sąrankos sudėtingoms lydinio ir daugiasluoksnėms gradientinėms plėvelėms.
Automatikos lygis:
Integracija su automatizuotomis švarių patalpų substrato perdavimo sistemomis (EFEM / Vacuum cluster įrankiai).
Kokybės kontrolė
Nuotėkio aptikimas:
Kiekvienos vakuuminės kameros helio nuotėkis{0}}testuojamas naudojant masės spektrometrą (nuotėkio greitis < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Komponentų atsekamumas:
Vakuuminiai vožtuvai, masės srauto reguliatoriai (MFC) ir maitinimo šaltiniai, tiekiami iš kvalifikuotų Tier-1 pramoninių prekių ženklų (MKS, Inficon, VAT).
Gamyklinis priėmimo bandymas (FAT):
Prieš išsiuntimą atlikite-bandžius, patvirtinančius bazinį slėgį, siurbimo kreivę, šaltinio stabilumą ir 24-val. nepertraukiamą tuščios kameros patvarumą.
Metrologijos patvirtinimas:
Mėginių paleidimai tikrinami spektrofotometru (pralaidumas/atspindys) ir atominės jėgos mikroskopija (paviršiaus šiurkštumas Ra < 0,5 nm).
Diegimas ir techninė pagalba
Svetainės paruošimo vadovas:
Išsamūs komunalinių paslaugų reikalavimai pateikti prieš pristatymą (aušinimo vandens srautas / slėgis, švarios patalpos suslėgtas oras, energijos paskirstymas, išmetimo ventiliacija).
Paleidimas iki galo:
Vietos priežiūros inžinieriai atlieka mechaninį surinkimą, vakuuminį kepimą-, jonų pluošto kalibravimą ir pradinio proceso recepto pasirašymą-svetainėje-.
Operatoriaus mokymas:
Struktūrizuotos praktikos{0}}mokymai, apimantys įprastinę priežiūrą, vakuumo saugą, programinės įrangos valdymą ir trikčių šalinimą.
Viso gyvavimo ciklo palaikymas:
Nuotolinė diagnostikos sąsaja greitam programinės įrangos trikčių šalinimui; regioninės kritinio susidėvėjimo elementų (gijų, tiglių, skydų) atsargos, išsiųstos per 48 valandas.
DUK
Esame gerai žinomi-kaip vieni iš pirmaujančių jonų-garinimo plonasluoksnės įrangos gamintojų ir tiekėjų Kinijoje. Jei ketinate įsigyti pritaikytą Kinijoje pagamintą plonasluoksnę jonų -garinimo įrangą, kviečiame gauti mūsų gamyklos kainoraštį. Dėl kainų konsultacijos susisiekite su mumis.
