Kinijos kelių{0}}lankų jonų plonasluoksnės įrangos gamintojų tiekėjų gamykla

Produkto apžvalga

Pramoninė kelių{0}}arkinio jonų dengimo įranga, skirta padengti kietas dangas, funkcines plėveles ir dekoratyvinę PVD apdailą ant tikslių komponentų. Naudodama didelės-srovės, žemos{3}}tampos vakuuminį lankinį išlydį, sistema tiesiogiai išgarina kietas tikslines medžiagas (Ti, Cr, Al, Zr). Sujungus su reaktyviosiomis dujomis (N2, O2, C2H2), jis sintetina tankius pereinamųjų metalų nitridus, karbidus ir oksidus tiesiai ant metalinių substratų.

Sukurtas pagal modulinę vakuuminės kameros architektūrą, šis galutinai paruoštas PVD sprendimas pritaikytas įvairiems gamybos masteliams-nuo MTEP paketinio apdorojimo iki automatizuotos, didelio našumo{1}}vidinės gamybos. Sistema optimizuota siekiant didelio tikslo panaudojimo ir mažų bendrųjų nuosavybės išlaidų (TCO) nuolatinėje 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę.

Daugia{0}}lankinio vakuuminio nusodinimo įranga
Šioje daugialypėje -lankinio vakuuminio nusodinimo sistemoje naudojama katodinio lankinio jonų dengimo technologija, kad būtų galima nusodinti tankias, stipriai{1}}sukimbančias kietas dangas ant...
Peržiūrėti daugiau
Daugia{0}}lankinio jonų nusodinimo sistema
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80 % kieto katodo medžiagos...
Peržiūrėti daugiau
Kelių-lankų PVD plonasluoksnė įranga
Pramoninėje daugia{0}}lankinėje PVD sistemoje naudojamas didelės-jonizacijos katodinis lankinis fizinis garų nusodinimas, kad ant metalinių pagrindų būtų padengtos tankios, stechiometrinės kietos...
Peržiūrėti daugiau
Daugia{0}}lankinio jonų nusodinimo įranga
Pramoninė daugialypės -lankinio jonų nusodinimo sistema sukuria tankias, stipriai{1}}sukibusias plonas plėveles per didelės-srovės, žemos{3}}tampos katodinio lanko garavimą. Kietos tikslinės...
Peržiūrėti daugiau
Daugia-arkinių jonų plonasluoksnė sistema
Pramoninėje daugia{0}}arkinių jonų plonų plėvelių sistemoje naudojamas katodinis lankinis išgarinimas, kad ant metalinių ir lydinių pagrindo būtų padengtos tankios, stipriai{1}}sukibiančios...
Peržiūrėti daugiau
Daugia-lanko jonų plonasluoksnė įranga
Šioje daugialankinėje jonų dengimo sistemoje naudojamas katodinis lankinis garinimas, kad nusodintų tankias, stipriai{1}}sukimbančias kietas dangas ir funkcionalias plonas plėveles....
Peržiūrėti daugiau

Techninės specifikacijos

Parametras	Specifikacijų diapazonas	Vienetas / pastaba
Kameros matmenys	Nuo 600 x 600 iki 1 500 x 1800	mm (tinkintos vertikalios arba horizontalios konfigūracijos)
Didžiausias vakuuminis slėgis	<= 5.0 x 10^-4	Pa (sausasis siurblys + turbo{1}}molekulinis / alyvos difuzijos rinkinys)
Katodo lanko šaltiniai	Nuo 4 iki 16 vienetų	Elektromagnetiniai valdomi arba filtruojami lanko šaltiniai (FCA)
Substrato poslinkio galia	nuo 0 iki -1000	V (išplėstinės impulsinės nuolatinės srovės / MF poslinkio galimybės)
Šildymo temperatūra	Kambario temperatūra iki 600	C (PID valdomi spinduliniai šildytuvai)
Nusėdimo vienodumas	<= +/- 5%	Matuojama per XRF efektyvioje darbo zonoje
Valdymo sistema	PLC + pramoninis kompiuteris	Automatizuotas receptų vykdymas, SCADA duomenų registravimas
Sauga ir atitiktis	CE, ISO 9001	Pagal užsakymą galima įsigyti UL-suderintų elektros gaubtų

Daugia{0}}lankinio jonų nusodinimo procesas

Fizinė garų nusodinimo seka veikia pagal griežtą, uždarą{0}}ciklą automatizuotą darbo eigą, kad būtų užtikrintas partijos-į-pakartojamumą:

Evakuacija ir dujų pašalinimas:

Vakuuminė kamera pumpuojama iki bazinio slėgio<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Plazminis ėsdinimas (bombardavimas):

Įvedamos argono dujos. Pagrindo laikikliui taikomas didelis neigiamas poslinkis, generuojant Ar jonus, kurie bombarduoja paviršių, kad pašalintų natūralius oksidus ir mikro{1}}teršalus.

Lanko garinimas ir jonizacija:

Nuolatinės srovės lanko srovė atsitrenkia į kietą metalinį katodą. Vietinis katodo taškas pasiekia itin didelį energijos tankį, akimirksniu išgaruodamas tikslinę medžiagą į didelio -tankio plazmos srovę (jonizacijos greitis > 80 %).

Reaktyvus nusodinimas:

Reaktyviosios dujos įpurškiamos į plazmos srautą tiksliai kontroliuojamu daliniu slėgiu per masės srauto valdiklius (MFC), sudarant stechiometrines junginių plėveles ant besisukančių substratų.

Vėsinimas ir vėdinimas:

Prieš išleidžiant kamerą, kontroliuojamas aušinimas, apsaugotas nuo inertinių dujų, užkertant kelią šviežiai padengtų dalių oksidacijai.

Plėvelės medžiagos ir dangos savybės

Sistema palaiko kelių{0}}metalinių katodų išdėstymus, įgalinančius vienasluoksnes, daugiasluoksnes, nano-kompozitines ir gradientinės plėvelės architektūras:

TiN (titano nitridas):

Standartinė auksinė danga; kietumas 2200–2400 HV; trinties koeficientas 0,4. Pagrindinė paskirtis: bendrieji pjovimo įrankiai ir mechaninės susidėvinčios dalys.

TiAlN (titano aliuminio nitridas):

Atsparumas oksidacijai aukštoje -temperatūroje iki 850 C; kietumas 3000–3300 HV. Pagrindinis naudojimas: didelio greičio{5}}sauso apdirbimo įdėklai ir variklio vožtuvai.

CrN / CrAlN (chromo nitridas):

Puikus atsparumas korozijai ir mažas vidinis įtempis; Spalvotųjų metalų anti-užfiksavimo savybės. Pirminis naudojimas: formavimo formos, stūmoklių žiedai ir tekstilės mašinų komponentai.

ZrN / TiCN:

Mažas paviršiaus šiurkštumas (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Programos

Tiksliojo pjovimo įrankiai:

Galiniai frezai, grąžtai, kaitlentės ir indeksuojami įdėklai, kuriems reikalingas ilgesnis įrankio tarnavimo laikas esant didelėms šiluminėms apkrovoms.

Automobilių jėgos pavara:

Stūmokliniai kaiščiai, smeigtukai, degalų įpurškimo komponentai ir pavarų paviršiai, kuriems reikalinga mažesnė ribinė trintis ir atsparumas dilimui.

Formos ir štampai:

Plastikinės įpurškimo formos, štampavimo štampai ir štampavimo{0}}liejimo įdėklai, kuriems reikalingas atsparumas klijų nusidėvėjimui ir terminiam nuovargiui.

Oro erdvės komponentai:

Turbinos mentės ir titano tvirtinimo detalės, veikiančios agresyvioje korozinėje ir didelio{0}}įtempimo aplinkoje.

Tinkinimas ir sistemos konfigūravimas

Standartiniai katalogo elementai retai puikiai tinka tam skirtiems gamykliniams maketams. Įrangos konfigūracijos yra pritaikytos atsižvelgiant į konkrečią komponentų geometriją, ciklo trukmės tikslus ir įrenginio apribojimus:

Kameros geometrija:

Aštuonkampės arba cilindrinės nerūdijančio plieno kameros (SUS304/SUS316L) su dvigubomis -sieninėmis vandens-aušinimo gaubtais.

Šaltinio išdėstymas:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Pagrindo tvirtinimas:

Planetinis sukimasis (3-ašis) arba vieno sukimosi mechanizmai, varomi magnetinio skysčio tiekimo, kad būtų užtikrintas vienodas dangos padengimas sudėtingose 3D geometrijose.

Siurbimo kamino parinktys:

Orapūtės, sukamieji mentiniai siurbliai, kriogeniniai siurbliai arba turbomolekuliniai siurbliai, sukonfigūruoti taip, kad atitiktų griežtus siurblių{0}}nuleidimo ciklo laikus.

Kokybės kontrolės ir testavimo protokolai

Kiekviena mašina prieš išsiuntimą atlieka griežtą gamyklos priėmimo testą (FAT), patvirtintą pirkėjo peržiūrai:

Vakuuminio vientisumo testas:

Helio nuotėkio aptikimas naudojant masės spektrometriją (nuotėkio greitis<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Elektros sauga ir{0}}degimas:

72 valandų nepertraukiamas maitinimo šaltinių, vandens aušinimo blokų ir PLC automatikos logikos veikimas.

Dangos patikrinimas (vidinėje laboratorijoje):

Mėginių bandymai buvo išbandyti taikant Calo{0}}testą (plėvelės storis), Rokvelo įdubimą (sukibimo stiprumą) ir nanoįdubimą (kietumą).

Montavimas, paleidimas ir techninė pagalba

Svetainės paruošimo gairės:

Pateikti detalūs komunalinių paslaugų išdėstymo brėžiniai dėl aušinimo vandens srauto/slėgio, suspausto oro, ištraukiamosios ventiliacijos ir elektros šynų reikalavimų.

SAT ir paleidimas:

Diegimas vietoje (svetainės priėmimo bandymas), vakuuminis kalibravimas ir pradinio recepto perdavimas, kurį atlieka vyresni PVD proceso inžinieriai.

Proceso mokymas:

Praktinis{0}}operatoriaus mokymas, apimantis katodo keitimo grafikus, prevencinę vakuumo priežiūrą, trikčių šalinimą ir pagrindinį receptų optimizavimą.

Atsarginių dalių palaikymas:

Kritiškai susidėvėję komponentai (katodai, ekranai, izoliatoriai ir sandarikliai) sukaupti, kad būtų galima išsiųsti per 48 valandas.

Dažnai užduodami klausimai

Kl.: kaip slopinate makrodaleles (lašelius), būdingas daugialypiam jonų dengimui{0}?

A: Mes naudojame reguliuojamus magnetinius vairavimo laukus kartu su optimizuotomis lanko srovės bangų formomis, kad stabilizuotume katodo vietas ir sumažintume lašelių emisiją. Itin sklandžioms optinėms ar medicinos reikmėms sistema gali būti integruota su filtruoto katodinio lanko (FCA) šaltiniais.

Kl .: Koks yra įprastas tinkintos kameros konfigūracijos apdorojimo laikas?

A: Standartinės konfigūracijos pristatomos per 16–20 savaičių. Visiškai pritaikytiems kameros matmenims, automatizuotoms robotų pakrovimo sąsajoms arba specializuotoms kriogeninėms siurbimo sistemoms reikia 24–30 savaičių nuo P&ID brėžinio patvirtinimo.

Kl.: Ar sistema gali saugoti kelis dangų receptus skirtingoms dalių šeimoms?

A: Taip. Pramoninė PLC valdymo sistema saugo iki 100 individualių procesų receptų. Tai įgalina automatizuotą, vienu{3}}palietimu per dujų masės srauto valdiklius (MFC), poslinkio įtampos didinimą, lanko srovės seką ir konkretų žingsnių laiką.

Esame gerai{0}}žinomi kaip vieni iš pirmaujančių daugialypės Jei ketinate įsigyti tinkintą Kinijoje pagamintą daugialypės -lankos jonų plonosios plėvelės įrangą, kviečiame gauti mūsų gamyklos kainoraštį. Dėl kainų konsultacijos susisiekite su mumis.