Produkto apžvalga
Pramoninė katodinio lanko garinimo sistema yra gamybinio -fizinio garų nusodinimo (PVD) platforma, sukurta dėvėjimuisi-atsparioms, korozijai-atsparioms ir mažos-trinties kietoms dangoms padengti. Naudojant žemos -įtampos, didelės- srovės elektros lankus, kietojo katodo taikiniai išgaruoja ir akimirksniu jonizuojami katodo taške, todėl susidaro labai jonizuota metalo plazma.
Sukurta ir pagaminta pagal ISO 9001 kokybės valdymo standartus ir CE atitikties direktyvas, ši sistema sukonfigūruota didelio{1}}našumo dengimo operacijoms įrankių gamybos, automobilių komponentų ir pramoninės techninės įrangos sektoriuose. Standartinėse konfigūracijose integruoti kelių{3}}katodų išdėstymai su nepriklausomu magnetinio-lauko valdymu, programuojamais nuolatinės srovės / impulsinio poslinkio maitinimo šaltiniais ir automatiniu vakuumo valdymu, kad būtų išlaikyta nuosekli plėvelės stechiometrija ir tankios mikrostruktūros.
-
![Lanko garinimo plonasluoksnė sistema]()
Lanko garinimo plonasluoksnė sistemaPramoninė katodinio lanko garinimo plonų plėvelių sistema sukurta taip, kad būtų galima greitai nusodinti tankias, stipriai sukimbančias metalines, lydinių ir keraminių junginių dangas. Naudodama...Peržiūrėti daugiau -
![Lanko garinimo PVD įranga]()
Lanko garinimo PVD įrangaPramoninė katodinio lanko garinimo PVD sistema naudoja žemos{0}}įtampos, didelės-srovės elektros lankus, kad išgaruotų kietojo katodo taikinius vakuuminėje aplinkoje. Šis mechanizmas pasiekia...Peržiūrėti daugiau -
![Vakuuminė lanko plonasluoksnė sistema]()
Vakuuminė lanko plonasluoksnė sistemaPramoninė vakuuminė lanko plonų plėvelių sistema naudoja katodinį lankinį garavimą, kad nusodintų tankias, labai sukimbančias metalines, lydinių ir keramikos plonas plėveles. Didelės-srovės,...Peržiūrėti daugiau -
![Katodinio lanko plonasluoksnė įranga]()
Katodinio lanko plonasluoksnė įrangaFizinio nusodinimo iš garų (PVD) sistema, naudojanti lokalizuotus žemos{0}}įtampos, didelės-srovės elektros lankus, kad išgarintų kietojo katodo taikinius į visiškai jonizuotą plazmą. Didelis...Peržiūrėti daugiau -
![Lankinio garinimo nusodinimo įranga]()
Lankinio garinimo nusodinimo įrangaPramoninė fizinio garų nusodinimo (PVD) platforma, sukurta greitai{0}}sintezuoti tankias,-atsparias dilimui ir funkcionalias kietas dangas. Didelės -srovės, žemos{4}} įtampos katodinio lankinio...Peržiūrėti daugiau -
![Lankinio išgarinimo plonasluoksnė įranga]()
Lankinio išgarinimo plonasluoksnė įrangaŠi katodinio lanko garinimo sistema išgarina kietojo katodo taikinius per žemos -įtampos, didelės- srovės elektros lanką, kad sukurtų visiškai jonizuotą metalo plazmą. Palyginti su standartiniu...Peržiūrėti daugiau
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacijų diapazonas / standartinė konfigūracija |
|
Kameros matmenys |
Skersmuo: 800 mm - 1800 mm (pritaikomas vertikalus / horizontalus išdėstymas) |
|
Kameros medžiaga |
Dvigubos{0}}sienos nerūdijantis plienas SUS304 su vidiniais vandens-aušinimo kanalais |
|
Didžiausias vakuuminis slėgis |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Katodo konfigūracija |
Nuo 4 iki 12 stačiakampių / apskritų lanko šaltinių su elektromagnetiniu valdymu |
|
Lanko maitinimo šaltinis |
300A - 500Reguliuojama nuolatinė srovė, pulsacija<= 2% |
|
Substrato poslinkio galia |
Nuo 0 iki -1000 V reguliuojamas impulsinis poslinkio dažnis 10 kHz - 100 kHz |
|
Šildymo sistema |
Spindulinio šildytuvo masyvas, maksimali temperatūra 600 laipsnių +/- 5 laipsnių vienodumas |
|
Ruošinio pasukimas |
Planetinis arba dviejų{0}}ašių sukimasis, varomas magnetinio skysčio tiekimo |
|
Valdymo sistema |
PLC + pramoninis kompiuteris, pagal receptą{1}}pagrįstas automatinis sekos valdymas |
|
Komunalinių paslaugų reikalavimai |
Aušinimo vanduo: 0,25-0,35 MPa, 20-25 laipsniai ; Galia: 380V/480V, 3 fazių, 50/60 Hz |
Lanko išgarinimo procesas
Nusodinimo ciklas veikia griežtai kontroliuojant procedūras, kad būtų užtikrintas plėvelės vientisumas ir sąsajos sukibimas:
Evakuacija ir dujų pašalinimas:
Vakuuminė kamera pumpuojama iki bazinio slėgio. Pagrindai šildomi vakuume, kad pašalintų paviršiaus lakus ir likutinę drėgmę.
01
Plazminis ėsdinimas (valymas):
Metalo jonų bombardavimas (naudojant titano arba chromo šaltinius) nuvalo substrato paviršių atominiu lygiu, pašalina natūralius oksidus ir suaktyvina sąsają.
02
Reaktyvus nusodinimas:
Reaktyviosios dujos (N2, CH4, O2) įleidžiamos į kamerą per masės srauto reguliatorius (MFC), kad reaguotų su metalo plazmos srautu (pvz., Ti, Cr, AlTi), sudarydamos sudėtines plėveles, tokias kaip TiN, TiAlN arba CrN.
03
Vėsinimas ir vėdinimas:
Po-nusodinimo aušinimas vyksta apsauginėje inertinių dujų atmosferoje prieš išleidžiant kamerą ir išimant dalį.
04
Palaikomi katodiniai taikiniai
Titanas (Ti) ir titano aliuminis (TiAl):Pagrindinės medžiagos standartinėms TiN ir didelio{0}}oksidacijai-atsparumo TiAlN dangoms (atsparios oksidacijai iki 900 laipsnių).
Chromas (Cr):Naudojamas dekoratyvinei apdailai ir korozijai{0}}atspariems CrN/CrC sluoksniams.
Cirkonis (Zr) ir titano silicis (TiSi):Taikoma specializuotoms dekoratyvinėms ir ekstremaliam dilimui{0}}atsparioms nanokompozitinėms plėvelėms.
Suderinamos pagrindo medžiagos
Greitasis plienas (HSS):Sukamieji grąžtai, galiniai frezai, kaitlentės ir įpjovos.
Cementuoti karbidai (WC-Co):Indeksuojami įdėklai, slankikliai ir formavimo štampai.
Inžinerinis plienas ir lydiniai:Automobilių vožtuvų komponentai, krumpliaračiai, nerūdijančio plieno sanitarinė įranga ir titano medicininiai implantai.
Programos ir našumo poveikis
Metalo pjovimo įrankiai:
TiAlN ir AlCrN dangų nusodinimas ant karbido įdėklų ir galinių frezų, pailginant įrankio tarnavimo laiką 200 % iki 300 % ir suteikiant galimybę apdirbti sausai dideliu greičiu.
Formavimo ir štampavimo štampai:
Tankios,{0}}mažos trinties dangos naudojimas, siekiant sumažinti klijų susidėvėjimą, šukavimą ir ruošinio prilipimą gilaus tempimo metu, sumažinant prastovos laiką iki 40%.
Automobilių jėgos pavara:
Stūmoklinių žiedų, degalų įpurškimo kaiščių ir srieginių sriegių apdorojimas, siekiant sumažinti ribinį trinties koeficientą iki < 0,15 ir užkirsti kelią dilimui.
Pramoninė įranga ir sanitarinis maišytuvas:
Kieti dekoratyviniai PVD sluoksniai (TiN auksas, rožinis auksas, juodasis cirkonis), išlaikantys mažiausiai 500 valandų neutralios druskos purškimo testą (ASTM B117).
Tinkinimas ir proceso konfigūracija
Įrangos išdėstymas pagal gamybos apimtį, dalių geometriją ir gamyklos plotą:
Kameros geometrija:
Vertikalios sunkiųjų įrankių apkrovos konstrukcijos; horizontalios partijos konfigūracijos, skirtos didelės talpos{0}}armatūrai įkelti.
Šaltinio integravimas:
Hibridinės konfigūracijos, sujungiančios katodinio lanko šaltinius su nesubalansuotais magnetroninio purškimo (RMS) katodais, kad būtų galima nusodinti lygias,{0}}nelašelių daugiasluoksnes architektūras.
Filtravimo sistemos:
Pasirenkami magnetiniai makrodalelių filtrai (valdomo lanko filtrai), sumontuoti katodiniuose kanaluose, siekiant pašalinti makro{0}}lašelius optinėms arba itin sklandžioms, tikslioms funkcinėms dangoms.
Automatikos sąsaja:
Integracija{0}}paruošta robotų pakrovimo svirtims ir automatizuotam valdomų transporto priemonių (AGV) partijos sustojimui.
Struktūrinis vientisumas:Kameros korpusuose atliekamas helio masės spektrometro nuotėkio bandymas, kai jautrumo riba yra<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektros sauga ir atitiktis:Pagaminta griežtai laikantis CE ir IEC elektros saugos gairių, pilnai išbandyta izoliacija ir avariniai saugos blokai.
Funkcinis paleidimas{0}}(FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) prieš išsiuntimą patikrinami naudojant standartinius bandomuosius kuponus.
Diegimas ir techninė pagalba
Svetainės paruošimo paketas:
Išsamūs komunalinių paslaugų išdėstymo brėžiniai, kuriuose išsamiai aprašomi aušinimo vandens srautai, ištraukiamoji ventiliacija, grindų apkrova ir elektros kritimo specifikacijos, pateiktos praėjus 4 savaitėms po sutarties sudarymo.
Paleidimas vietoje-:
Gamyklos{0}}sertifikuoti procesų inžinieriai kliento įstaigoje atlieka mechaninį išlygiavimą, vakuumo nuotėkio aptikimą, elektros integravimą ir pradinį pagrindinio recepto nustatymą.
Proceso recepto perkėlimas:
Pristatymas apima standartinius pradinius receptus (TiN, TiAlN, CrN) ir vidaus techninės priežiūros ir inžinierių komandų mokymus.
Nuotolinės diagnostikos palaikymas:
Sistemos su saugiais pramoniniais maršrutizatorių šliuzais nuotoliniam parametrų trikčių šalinimui ir PLC loginei diagnostikai.
DUK
Esame gerai{0}}žinomi kaip vieni iš pirmaujančių lankinio garinimo plonasluoksnės įrangos gamintojų ir tiekėjų Kinijoje. Jei ketinate įsigyti pritaikytą lanko garinimo plonasluoksnę įrangą, pagamintą Kinijoje, kviečiame gauti kainoraštį iš mūsų gamyklos. Dėl kainų konsultacijos susisiekite su mumis.
