Produkto apžvalga
PVD Composite Thin Film Equipment yra pramoninė vakuuminio nusodinimo platforma, sukurta daugiasluoksnėms, lydinių ir nanokompozitinėms plonoms plėvelėms nusodinti. Vienoje vakuuminėje kameroje integruojant magnetroninio dulkinimo ir katodinio lanko šaltinius, sistema leidžia tiksliai valdyti plėvelės mikrostruktūrą, liekamąjį įtempį ir sąsajos sukibimą. Sukurta nuolatinei gamybai ir pažangiems tyrimams ir plėtrai, platforma tinka metaliniams, keraminiams ir polimeriniams pagrindams su keičiamo dydžio kameros geometrija.
-
![PVD kompozito vakuuminio nusodinimo įranga]()
PVD kompozito vakuuminio nusodinimo įrangaŠi pramoninė PVD kompozicinė vakuuminio nusodinimo platforma integruoja kelis nusodinimo būdus į vienos kameros aplinką, kad būtų nusodinamos vienodos, daugiasluoksnės metalinės, lydinio ar...Peržiūrėti daugiau -
![PVD hibridinė plonasluoksnė nusodinimo sistema]()
PVD hibridinė plonasluoksnė nusodinimo sistemaPVD hibridinė plonasluoksnė nusodinimo sistema sujungia terminį išgarinimą, elektronų pluošto (e-spindulio) išgarinimą ir RF/DC magnetroninį purškimą vienoje vakuuminėje architektūroje. Ši...Peržiūrėti daugiau -
![PVD Multi{0}}Plonos plėvelės apdorojimo įranga]()
PVD Multi{0}}Plonos plėvelės apdorojimo įrangaPVD Multi{0}}Process Thin Film Equipment yra integruota vakuuminio nusodinimo platforma, sukurta taip, kad vienoje vakuuminėje architektūroje būtų galima sujungti kelis plonos{1} plėvelės gamybos...Peržiūrėti daugiau -
![PVD kompozitų nusodinimo įranga]()
PVD kompozitų nusodinimo įrangaPramoninė PVD kompozitų nusodinimo įranga yra sukurta kelių{0}}komponentinių, daugiasluoksnių ir nano-kompozitinių plonų{3} plėvelių gamybai. Sistema sujungia terminį garavimą, e-spindulio...Peržiūrėti daugiau -
![PVD kompozitinė plonasluoksnė sistema]()
PVD kompozitinė plonasluoksnė sistemaPramoninė{0}}vakuuminio dengimo sistema, integruojanti magnetroninį purškimą (RF/DC/HiPIMS) ir katodinio lanko garavimą. Sukurta nenutrūkstamam, daugiasluoksniam, lydinio ir nano-kompozitiniam...Peržiūrėti daugiau -
![PVD kompozicinė plonasluoksnė įranga]()
PVD kompozicinė plonasluoksnė įrangaPVD Composite Thin Film Equipment yra pramoninė vakuuminė platforma, skirta daugiasluoksnėms, lydinių ir rūšiuotoms plonoms plėvelėms sintetinti. Sukurtas ant modulinės 304L/316L nerūdijančio...Peržiūrėti daugiau
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacijų diapazonas |
|
Didžiausias vakuuminis slėgis |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Darbinis slėgis |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Pagrindo temperatūra |
Aplinka iki 800 laipsnių (valdomas uždaros{1} kilpos PID) |
|
Nusėdimo šaltiniai |
Konfigūruojama: DC/RF magnetroninis purškimas, impulsinė nuolatinė srovė, filtruotas katodinis lankas |
|
Storis vienodumas |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Kameros medžiaga |
304L/316L nerūdijantis plienas, mechaninis šlifavimas ir elektro-poliruotas (Ra<= 0.4 um) |
|
Maitinimo šaltinio integravimas |
MF generatoriai (10–100 kHz), RF generatoriai (13,56 MHz), impulsinis nuolatinės srovės poslinkis |
|
Valdymo sistema |
Pramoninis PLC + IPC su automatizuotu receptų vykdymu, blokavimo stebėjimu ir paketinių duomenų registravimu |
Sudėtinis nusodinimo procesas
Sistema naudoja hibridinę fizinio garų nusodinimo architektūrą, jungiančią magnetroninio purškimo ir katodinio lanko technologijas.
Kelių{0}}šaltinių sinergija:
Vienalaikis arba nuoseklus kelių katodų veikimas leidžia staigius arba laipsniškus kompozicijos perėjimus per plėvelės krūvą.
Išankstinis jonų ėsdinimo{0}}valymas:
RF arba nuolatinės srovės plazminio valymo etapais prieš nusodinant pašalinami natūralūs oksidai ir paviršiaus teršalai, siekiant maksimaliai padidinti dangą-ir-substrato sukibimą.
Reaktyvaus nusodinimo kontrolė:
Uždarosios -ciklos optinės emisijos spektroskopija (OES) reguliuoja reaktyvų dujų įpurškimą (O2, N2, C2H2), kad išlaikytų stabilią junginio stechiometriją ir išvengtų apsinuodijimo taikiniu.
Substrato poslinkis:
Sinchroninio impulsinio poslinkio maitinimo šaltiniai bombarduoja augančią plėvelę didelės-energijos jonais, sutankindami mikrostruktūrą ir pritaikydami liekamąjį gniuždymo įtempį.
Filmų medžiagos
Įranga palaiko platų tikslinių medžiagų spektrą pagal pritaikytus funkcinius reikalavimus:
Pereinamojo metalo nitridai ir karbidai:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN atsparumas dilimui ir korozijai.
Nanokompozitinės ir daugiasluoksnės sistemos:
TiSiN, AlTiSiN, metalo/keramikos nanosluoksniai, užtikrinantys išskirtinį kietumą ir aukštą{0}}terminį stabilumą aukštoje temperatūroje.
Skaidrūs laidžiieji oksidai (TCO):
ITO, AZO, IGZO optoelektroninėms ir fotovoltinėms reikmėms.
Grynieji metalai ir lydiniai:
Ti, Cr, Al, Cu, nerūdijantis plienas, NiCr elektrinio kontakto ir difuzijos barjeriniams sluoksniams.
Programos
Tiksliojo pjovimo įrankiai:
Itin kietų, mažos{1} trinties dangų (pvz., TiAlN) nusodinimas ant karbido įdėklų, grąžtų ir galinių- frezų, siekiant pailginti eksploatavimo trukmę esant didelėms šiluminėms apkrovoms.
Automobilių komponentai:
Trinčiai-atsparios ir{1}}dėvėjimui atsparios plėvelės ant stūmoklių žiedų, degalų įpurškimo dalių ir pavarų mazgų.
Optoelektronika ir ekranai:
Mažos-varžinės, didelio-pralaidumo oksido sluoksniai, skirti jutikliniams skydams ir saulės elementų substratams.
Medicinos prietaisai:
Biologiškai suderinamos ir{0}}dėvėjimuisi atsparios chirurginių instrumentų ir ortopedinių implantų dangos.
Tinkinimas ir sistemos konfigūravimas
Inžinerinės konfigūracijos pritaikytos prie konkrečių gamybos įrenginių apribojimų ir proceso receptų:
Kameros dydis:
Cilindrinės arba stačiakampės kameros: nuo MTTP paketinių sistemų (500 mm skersmens) iki didelės-gamybos apkrovos-užraktų sistemų (1000 mm ir daugiau).
01
Pumping Suite pasirinkimas:
Suderinami šakniniai pūstuvai, turbomolekuliniai siurbliai ir kriogeniniai siurbliai, atsižvelgiant į reikiamą siurblio -prastovavimo laiką ir dujų apkrovos profilius.
02
Pagrindo tvirtinimas:
Pritaikytos planetų sukimosi pakopos, 3-ašių palydovinis sukimasis arba rutulio{2}}sukimo moduliai, sukurti sudėtingoms 3D geometrijoms arba ištisiniams tinklams.
03
Automatikos lygis:
Pusiau{0}}automatizuotos rankinio įkėlimo konfigūracijos arba visiškai automatizuotos vakuuminio perdavimo sistemos su robotizuotu substrato tvarkymu.
04
Gamyba ir kokybės kontrolė
Nuotėkio aptikimas:
Kiekvienoje vakuuminėje kameroje atliekamas helio masės spektrometro nuotėkio bandymas iki < 1 x 10^-10 Pa * m^3/s slenksčio.
Suvirinimo patikrinimas:
Vakuuminės-šoninės suvirinimo siūlės yra suvirinamos TIG, šlifuojamos ir poliruojamos, o po to, paprašius, atliekama rentgeno spindulių arba dažų įsiskverbimo patikra.
Elektros ir saugos atitiktis:
Valdymo skydai, pagaminti pagal NFPA 79 arba CE/IEC standartus, su techninės įrangos blokatoriais vandens srautui, dujų slėgiui ir elektros saugai užtikrinti.
Gamyklinis priėmimo bandymas (FAT):
Bandymas prieš išsiuntimą apima 72-valandų nepertraukiamą-sauso veikimo ciklo režimą, vakuuminio veikimo patikrinimą ir bandomąjį dangos nusodinimą pagal kliento nurodytus receptus.
Svetainės paruošimo gairės:Pateiktas išsamus įrenginio reikalavimų dokumentas, kuriame išsamiai aprašomos komunalinių paslaugų sąsajos (aušinimo vandens srautas / slėgis, elektros apkrova, suslėgtas oras, išmetimas).
Eksploatacijos pradžia-:Vietos priežiūros inžinieriai atlieka mechaninį išlygiavimą, vakuumo nuotėkio patikrinimus, elektrinius sujungimus{0}}ir pradinį kalibravimą.
Proceso receptų derinimas:Bendradarbiavimas vietoje- su klientų metalurgais ir procesų inžinieriais, siekiant užfiksuoti tikslinį plėvelės storį, įtempį ir kietumo parametrus.
Viso gyvavimo ciklo palaikymas:Nuotolinės diagnostikos sąsaja, lokalizuotas atsarginių dalių inventorius ir suplanuotos prevencinės priežiūros programos.
DUK
Esame gerai{0}}žinomi kaip vieni iš pirmaujančių PVC kompozitinės plonos plėvelės įrangos gamintojų ir tiekėjų Kinijoje. Jei ketinate įsigyti pritaikytą PVC kompozitinę plonos plėvelės įrangą, pagamintą Kinijoje, kviečiame gauti mūsų gamyklos kainoraštį. Dėl kainų konsultacijos susisiekite su mumis.
