IBAE sistema sujungia elektronų-spindulį arba terminį garavimą su integruotu plataus-pluošto jonų šaltiniu. Vienu metu vykstant jonų bombardavimui plėvelės augimo metu kinetinė energija perduodama kondensuojantiems adatomams, pašalinant stulpelių mikrostruktūras ir sukuriant beveik -tūrio- tankio plonas plėveles su minimaliu drėgmės-sukeliamu spektriniu poslinkiu.
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacija |
|
Bazinis slėgis |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Darbinis slėgis |
1,0 x 10^(-1) iki 1,0 x 10^(-2) Pa |
|
Jonų šaltinio tipas |
Be tinklelio galas-Hall / Kaufmann jonų šaltinis |
|
Jonų pluošto energija |
nuo 50 eV iki 1500 eV (uždara{2}}kilpa stabilizuota) |
|
Jonų pluošto srovės tankis |
nuo 0 iki 2,5 mA/cm^2 |
|
Garavimo šaltiniai |
Daugia{0}}kišeninis E-spinduolis (nuo 4 x 15 cc iki 6 x 40 cc) / pasipriešinimo valtys |
|
Substrato laikiklis |
Planetinis sukimosi įrenginys su šildymu iki 300 laipsnių C |
|
Storis vienodumas |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Valdymo sistema |
Siemens S7-1500 PLC + pramoninis kompiuteris („Inficon“ nusodinimo valdiklis) |
Pagrindinės savybės
Dviejų{0}}režimų bombardavimas:Kinetinės energijos perdavimas sutankina plėveles esant žemai substrato temperatūrai, apsaugodamas gležną optiką ir polimerinius substratus.
Uždarosios{0}}ciklos jonų stabilizavimas:Integruoti masės srauto valdikliai palaiko pastovų jonų srautą per ilgą gamybos laikotarpį, užtikrindami partijos nuoseklumą.
Modulinė vakuuminė kamera:304 l nerūdijančio plieno konstrukcija su elektro-poliruotu vidumi (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Automatizuotas sekos nustatymas:PLC{0}}valdomo siurblio-nuleidimo, nusodinimo ir išleidimo ciklai sumažina veikimo skirtumus.
Vakuuminės sistemos konfigūracija
Grūdinimo siurbliai:Sausos šaknys ir sukamieji siurbliai be alyvos-.
Aukšto vakuumo siurblys:Magnetiškai levituotas turbomolekulinis siurblys (1600 L/s).
Matuokliai:Pirani, šaltojo katodo ir Baratron talpos manometrų derinys.
Vožtuvai:Pneumatiniai vartai ir kampiniai vožtuvai su techniniais apsauginiais užraktais.
Garavimo medžiagų ir substrato suderinamumas
Oksidai:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Fluorai:MgF2, LaF3
Metalai:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Substratai:Lydytas silicio dioksidas, BK7, silicio plokštelės, germanis, cinko selenidas (ZnSe) ir karščiui -atsparus poliimidas.
Programos
Tiksli optika:Siauro dažnio pralaidumo filtrai ir DWDM dangos, kurioms reikalingas stabilus centrinis bangos ilgis.
Lazerinė optika:Didelio-pažeidimo-slenksčio atšvaitai ir neatspindi{2}}dangos.
Puslaidininkiai ir fotonika:Dielektriniai apsauginiai sluoksniai, pasyvinimas ir optiniai bangolaidžiai.
Saulės energija:Skaidraus laidaus oksido (TCO) sąsajos modifikavimas.
Tinkinimas
Kameros dydis:Keičiamas skersmuo nuo 600 mm iki 1200 mm.
Šaltinio išdėstymas:Iki trijų e-spindulių ir keli šilumos šaltiniai vienoje platformoje.
In-Situ metrologija:Plačiajuosčio optinio stebėjimo (BOM) arba kvarco kristalų mikrobalanso (QCM) integracija.
Automatika:Robotinės substrato įkėlimo sąsajos, atitinkančios SEMI standartus.
Kokybės kontrolė
Nuotėkio aptikimas:Helio masės spektrometro tyrimas vienoje kameroje (jautrumas<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Komponentų tiekimas:1 lygio pramoniniai prekių ženklai (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Gamyklinis priėmimas (FAT):72 valandų nepertraukiamas sausas važiavimas ir patikrinimo danga, išmatuojanti lūžio rodiklį ir vienodumą prieš išsiunčiant.
Diegimas ir techninė pagalba
Dokumentacija:Pilnas anglų kalbos paketas, įskaitant elektros schemas, P&ID diagramas ir PLC šaltinio kodus.
Lauko paslaugos:Įdiegimas iki galo, vakuuminis kalibravimas ir receptų derinimas, kurį atlieka programų inžinieriai.
Nuotolinė diagnostika:Saugus VPN modulis programinės įrangos ir procesų trikčių šalinimui.
DUK
K: Kaip jonų pagalba keičia oksido lūžio rodiklį?
A: Energinis jonų bombardavimas išstumia įstrigusias dujas ir sutankina mikrostruktūrą, perkeldamas tokių plėvelių kaip Ta2O5 ir TiO2 lūžio rodiklį arčiau tūrinių verčių.
Kl .: koks yra tipiškas jonų šaltinio priežiūros intervalas?
A: Techninės priežiūros intervalai svyruoja nuo 150 iki 300 apdorojimo valandų, priklausomai nuo proceso dujų ir darbinės galios tankio.
Kl.: Ar ši sistema gali valdyti reaktyvius dujų procesus?
A: Taip. Nepriklausomi masės srauto reguliatoriai įpurškia reaktyviąsias dujas (O2, N2) tiesiai į jonų šaltinio ir kameros zonas, sujungtas apsauginiais slėgio jungikliais.
Populiarus Žymos: jonų pluošto garinimo įranga, Kinijos jonų pluošto garinimo įrangos gamintojai, tiekėjai, gamykla
