Pramoninė vakuuminė lanko plonų plėvelių sistema naudoja katodinį lankinį garavimą, kad nusodintų tankias, labai sukimbančias metalines, lydinių ir keramikos plonas plėveles. Didelės-srovės, žemos{2}}įtampos lankas išgarina kietas katodo medžiagas į labai jonizuotą plazmos srovę (40 % - 80 % jonizacijos greitis), taip užtikrinant išskirtinę plėvelę-, -sukibančią substratą ir didelius nusodinimo greičius.
Platforma, sukurta pramoninei gamybai ir pažangiems medžiagų tyrimams, apima kelių{0}}katodų konfigūraciją, tikslų reaktyviųjų dujų valdymą ir automatizuotą pramoninių dangų, tokių kaip TiN, TiAlN, CrN ir DLC, procesų valdymą.
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacija |
|
Kameros matmenys |
Phi 600 mm x 600 mm (pritaikoma iki Phi 1500 mm) |
|
Kameros struktūra |
304 nerūdijantis plienas, dvigubas -sienelis, aušinamas vandeniu-, vidinis elektropoliravimas Ra<= 0.4 um |
|
Bazinis slėgis |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (ISO 3567 compliant) |
|
Darbinis slėgis |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Siurbimo paketas |
Rotacinė mentelė + šaknų pūstuvas + didelės -greičio difuzijos / turbomolekulinis siurblys |
|
Lanko maitinimo šaltinis |
DC / impulsiniai nuolatinės srovės generatoriai (10 A - 200 A, pulsacija<= 1%) |
|
Substrato poslinkis |
Impulsinis nuolatinės srovės poslinkis: 0 ~ -1000 V reguliuojamas su lanko slopinimu |
|
Katodiniai šaltiniai |
2 ~ 6 magnetiniai-filtruoti arba vairo lanko šaltiniai (Phi 85 / Phi 100 mm) |
|
Substrato tvirtinimas |
Planetų sukimasis (1 ~ 10 RPM) kaitinant iki 600 C |
|
Valdymo architektūra |
PLC + pramoninis jutiklinis kompiuteris (receptų automatizavimas, CFR 21 11 dalis paruošta parinktis) |
Pagrindinės savybės
Didelė plazmos jonizacija:Katodinė lankinė jonizacija (40 % - 80%) skatina tankų plėvelės branduolių susidarymą ir pašalina stulpelių mikrostruktūros defektus.
Padidintas sukibimo stiprumas:Valant in-didelės energijos-jonus, pasiekiamos kritinės įbrėžimų apkrovos (Lc), viršijančios 40 N ant įrankių plieno (patikrintas ASTM C1624).
Toroidinis magnetinis filtras (pasirinktinai):Nukreipia plazmos trajektorijas, kad sulaikytų ir pašalintų makro-lašelius, sudarydamas be defektų-lygias nano-dangas.
Uždarojo-ciklo reaktyvusis valdymas:Masės srauto reguliatoriai (MFC) tiksliai reguliuoja N2, O2, C2H2 ir Ar stechiometriniam junginių nusodinimui.
Greita priežiūra:Greitai{0}}atjungiamas katodas leidžia taikinį pakeisti per 30 minučių.
Vakuuminės sistemos konfigūracija
Grubinimo ir šaknų etapas:Tiesioginės{0}}pavaros sukamoji mentė ir mechaninis stiprintuvo siurblys greitai sumažina iki 10 Pa.
Aukšto vakuumo stadija:Alyvos difuzinis siurblys su skysto azoto šalto gaudykle arba magnetine levituojamu turbomolekuliniu siurbliu (1600 L/s), pasiekiančiu < 5 x 10^-4 Pa.
Matuokliai ir blokatoriai:Dvigubi Pirani ir šaltojo katodo jonizacijos matuokliai suporuoti su automatiniais pneumatiniais sklendėmis ir PLC blokatoriais.
Garavimo medžiagų ir substrato suderinamumas
Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
Metalai:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, Au
Lydiniai / junginiai:TiAl, TiSi, CrAl, WC, grafitas (C)
Pagrindo medžiagos:
Įrankių plienas:SKH51, M2, D2, karbido įdėklai
Lydiniai:304/316L nerūdijantis plienas, Inconel, Ti-6Al-4V
Keramika/stiklas:Aliuminio oksidas, kvarcas (reikalingas paviršiaus aktyvinimas)
Programos
Pjovimo ir formavimo įrankiai:TiN, TiAlN ir AlCrN dangos ant grąžtų, galinių frezų ir štampavimo štampų (kietumas: 2500 - 3200 HV).
Automobilių komponentai:Mažos-trinties,-dėvėjimuisi atsparios stūmoklių žiedų ir degalų įpurškimo kaiščių dangos.
Dekoratyvinė įranga:Funkcinės metalinės apdailos (aukso, rožinio aukso, juodo metalo) vartotojui skirta įrangai.
Biomedicininiai implantai:Biologiškai suderinamos kietos chirurginių ir odontologinių prietaisų dangos (suderinami su ISO 10993 profiliai).
Tinkinimo parinktys
Kameros skalė:Padidintos stačiakampės arba cilindrinės kameros didelėms{0}}tūrio partijoms.
Hibridinės konfigūracijos:Dviejų{0}}technologijų integracijos katodinio lanko šaltinių poravimas su nesubalansuotu magnetroniniu dulkinimu (UBMS).
Šališkumo režimai:RF poslinkio integravimas izoliaciniams arba puslaidininkiniams pagrindams.
Duomenų integravimas:OPC UA / Modbus TCP protokolai MES ryšiui.
Kokybės kontrolė ir testavimas
Vykdoma pagal ISO 9001 kokybės vadybos standartus:
Helio nuotėkio aptikimas:Visų suvirinimo siūlių masės spektrometro bandymas (sistemos nuotėkio greitis<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).
Elektros sauga:Izoliacijos varža ir įžeminimo tęstinumas patikrintas pagal CE / IEC 60204-1.
Funkcinis patvirtinimas:72 valandų nepertraukiamas mechaninis ir elektrinis sausas važiavimas.
Gamyklinis priėmimo bandymas (FAT):Bandomasis nusodinimas, patvirtinantis storio vienodumą (+/- 5%) ir sukibimo metriką kliento bandymo kuponuose.
Diegimas ir techninė pagalba
Išankstinė{0}}priemonės patikra:Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5 m^3/h), galia ir išmetimo anga.
Eksploatacijos pradžia-:Lauko inžinierių prižiūrimas mechaninis išdėstymas, komunalinių paslaugų prijungimas ir vakuumo kvalifikacija.
Operatoriaus mokymas:5-dienų praktinė programa, apimanti įprastą veikimą, techninę priežiūrą, taikinio keitimą ir PLC programavimą.
Gyvenimo ciklo paslauga:Saugi VPN nuotolinė diagnostika ir 48 valandų kritinių atsarginių dalių išsiuntimas.
Dažnai užduodami klausimai
K: Kaip magnetinis filtravimas veikia nusodinimo greitį?
Ats.: Nors magnetiniai filtrai visiškai pašalina makro-lašelius tiksliuose optiniuose/elektroniniuose paviršiuose, plazminis vairavimo kelias sumažina efektyvų nusodinimo greitį maždaug 20 % - 30 %, palyginti su tiesioginėmis ne-filtruotomis vairo lanko konfigūracijomis.
Kl .: koks yra tipinis tikslinio pakeitimo intervalas?
A: Standartinis Phi 100 mm titano taikinys, veikiantis esant 100 A, duoda 60 - 100 gamybos partiją, priklausomai nuo plėvelės storio ir darbo ciklo.
Kl.: ar ne{0}}laidūs substratai suderinami su šia sistema?
A: Taip, jei nurodyta impulsinė nuolatinės srovės arba RF poslinkio konfigūracija, kad būtų išvengta paviršiaus krūvio kaupimosi ir lanko susidarymo jonų bombardavimo metu.
Kl.: Kokie yra tikslūs standartinio įrenginio įrangos naudingumo parametrai?
A: Maitinimas: 3 fazių, 380 V +/- 10%, 50/60 Hz (iš viso ~45 kW).
Cooling Water: >= 5 m^3/h esant 0.2 - 0.3 MPa (15 C - 25 C).
Suslėgtas oras: 0.5 - 0.7 MPa pneumatiniam valdymui.
Populiarus Žymos: vakuuminės lankinės plonos plėvelės sistema, Kinijos vakuuminės lanko plonos plėvelės sistemos gamintojai, tiekėjai, gamykla
