Fizinio nusodinimo iš garų (PVD) sistema, naudojanti lokalizuotus žemos{0}}įtampos, didelės-srovės elektros lankus, kad išgarintų kietojo katodo taikinius į visiškai jonizuotą plazmą. Didelis jonizacijos greitis (40 %-80 %) skatina tankų atominio-lygio sukibimą ir didelį gniuždymo įtempį, leidžiantį greitai nusodinti nusidėvėjimui{8}}atsparias ir dekoratyvines dangas ant greitaeigio plieno (HSS), karbido pjovimo įrankių, automobilių komponentų ir medicinos prietaisų.
Techninės specifikacijos
|
Parametras |
Specifikacijų diapazonas / detalės |
|
Kameros matmenys |
Individualizuotas vidinis tūris (Φ 800 × 1000 mm iki Φ 1500 × 1600 mm, SUS304 / SUS316L dviguba -siena, aušinama vandeniu) |
|
Galutinis slėgis |
Mažesnis arba lygus 5,0 × 10⁻⁴ Pa (turbomolekulinio ir šaknų / rotacinio atbulinio siurblio konfigūracija) |
|
Darbinis slėgis |
0,1 Pa ~ 2,0 Pa (Ar, N2, C2H₂, O2) |
|
Katodo lanko šaltiniai |
Nuo 4 iki 12 paskirstytų apskrito / stačiakampio formos filtruotų arba standartinių šaltinių su nepriklausomu magnetiniu valdymu |
|
Substrato poslinkis |
Impulsinis nuolatinės srovės poslinkis (reguliuojamas nuo 0 iki -1000 V, 10–100 kHz) |
|
Šildymo sistema |
Radiaciniai kvarciniai šildytuvai; maksimali kepimo temperatūra 500 laipsnių (±5 laipsnių vienodumas) |
|
Valdymo architektūra |
Siemens PLC + pramoninis kompiuteris (IPC); automatizuotas receptų vykdymas ir rankinis aparatinės įrangos perrašymas |
|
Elektros tiekimas |
3 fazių, 380 V / 480 V, 50 Hz / 60 Hz (sukonfigūruota pagal regioninius standartus) |
Pagrindinės savybės
Didelis jonizacijos efektyvumas:Plazmos jonizacijos greitis pasiekia 40 %-80 %, užtikrinant puikų plėvelės- sukibimą su pagrindu.
Moduliniai katodai:Greito-pakeitimo tikslo rinkinys sumažina priežiūros prastovos laiką; suderinamas su plokštuminiais ir sukamais cilindriniais katodais.
Uždarojo{0}}ciklo dujų kontrolė:MKS masės srauto reguliatoriai palaiko tikslų reaktyviųjų dujų dalinį slėgį sudėtinėms plėvelėms (TiAlN, TiCN).
Kelių{0}}ašių planetų sukimasis:Individualizuotos sukimosi ir apsisukimų pavaros užtikrina storio vienodumą (± 5 %) sudėtingose 3D geometrijose.
Dviejų{0}}režimų veikimas:Palaiko nuolatinės srovės lanko išgarinimą ir impulsinio poslinkio purškimo integravimą daugiasluoksnėms architektūroms.
Vakuuminės sistemos konfigūracija
Grūdinimo siurbliai:Šaknų ir sukamųjų mentelių siurblio derinys, skirtas greitai siurbti -iš atmosferos iki 10 Pa.
Aukšto vakuumo siurblys:Magnetiniu būdu levituotas turbomolekulinis siurblys (1600–3200 L/s), užtikrinantis laisvą angliavandenilio{2}bazinį slėgį.
Vožtuvai ir matuokliai:Pneumatiniai aukšto{0}}vakuuminiai sklendės su Pirani ir šaltojo katodo jonizacijos blokatoriais, kad būtų išvengta alyvos atbulinės eigos.
[Žiniatinklio gamintojui skirtas vaizdinis vadovas]:Įdėkite scheminę arba aiškią vakuuminio vandentiekio išdėstymo nuotrauką, pabrėždami turbomolekulinio siurblio ir pneumatinio sklendės padėtį.
Garavimo medžiagų ir substrato suderinamumas
Standartiniai katodo taikiniai (grynumas didesnis arba lygus 99,95 %)
Pereinamieji metalai:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 atomų santykiai), CrAl, W, Nb, Si.
Lydiniai ir junginiai:Grafitas (DLC tarpsluoksniams), nerūdijantis plienas.
Substrato suderinamumas ir išankstinis{0}}apdorojimas
Medžiagos:WC-Bendro pjovimo įrankiai, pjovimo staklės, įpjovos, štampavimo štampai, įpurškimo formos, titano lydiniai (5 klasės) ir nerūdijantis plienas.
Išankstinis{0}}gydymas:Ultragarsinis riebalų šalinimas tirpikliu ir valymas in-jonų bombardavimu (Ar⁺ plazminis ėsdinimas) kameros viduje prieš nusodinimą.
Programos
Pjovimo ir formavimo įrankiai:TiN, TiAlN ir AlCrN dangos padidina paviršiaus kietumą iki 3000–3500 HV, slopina terminį krateriavimą ir abrazyvinį nusidėvėjimą.
Automobilių komponentai:Trintį{0}}mažinančios stūmoklių žiedų, degalų įpurškimo kaiščių ir pavarų dalių dangos.
Medicininiai implantai:Biologiškai suderinamos TiN ir ZrN kietos dangos ant ortopedinių sąnarių pakaitalų ir chirurginių varžtų.
Dekoratyvinė įranga:Spalvų spektro gamyba (auksinis žalvaris, rožinis auksas, juodas metalas, titano pilka) naudojant reaktyviųjų dujų derinimą.
Tinkinimo parinktys
Kameros geometrija:Vertikalios pakrovimo (montuojamos į duobę-arba ant grindų-statomos) arba horizontalios priekinės{2}}pakrovimo konfigūracijos.
Šaltinio konfigūracija:Filtruoti katodinio lanko (FAC) magnetinių kanalų šaltiniai, skirti pašalinti makrodaleles optinei arba tiksliajai elektronikai.
Automatika:Robotinės pakrovimo rankos, AGV doko integracija ir MES duomenų registravimo protokolai.
Kokybės kontrolė ir gamyklos bandymai
Nuotėkio aptikimas:Visų kamerų ir suvirinimo siūlių bandymas helio masės spektrometru (Mažiau arba lygus 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).
Elektros sauga:Aukštos-įtampos izoliacijos varža, įžeminimo tęstinumas ir PLC blokavimo funkcijos patikrinimas.
Bandomasis paleidimas (FAT):72 -val. nepertraukiamo sauso- veikimo bandymas ir standartinis dangos nusodinimo testas, įvertintas Calo testu (storis) ir įbrėžimų testeriu (sukibimas).
Dokumentų paketas:Elektros schemos, P&ID diagramos, PLC šaltinio kodai, medžiagų sertifikatai ir FAT ataskaitos.
Diegimas ir techninė pagalba
Svetainės paruošimas:Išsamūs išdėstymo brėžiniai, aušinimo vandens metrika ir elektros paskirstymo specifikacijos pateikti likus 4 savaitėms iki išsiuntimo.
Paleidimas:Vyresnieji proceso inžinieriai-svetainėje atlieka mechaninį surinkimą, vakuuminį kalibravimą ir receptų perdavimą.
Treniruotės:Praktinės{0}}instrukcijos, apimančios aparatinės įrangos priežiūrą, vakuumo trikčių šalinimą ir saugos protokolus.
Palaikymas:Nuotolinės diagnostikos programinės įrangos integravimas, skirtas-PLC trikčių šalinimui realiuoju laiku, paremtas regioniniu atsarginių dalių inventoriumi.
DUK
K: Kaip sistema kontroliuoja makrodaleles (lašelius)?
A: Standartinės sistemos naudoja optimizuotus magnetinio izoliavimo laukus, kad greitai nukreiptų lanko taškus. Optiniam ar itin sklandžiam naudojimui integruojame filtruoto katodinio lanko (FAC) magnetinius kanalus, kad visiškai pašalintume lašelius.
Kl .: koks yra tikslinis panaudojimo lygis ir pakeitimo laikas?
A: plokštuminiai ir apskriti tikslai pasiekia 45 %-60 % panaudojimą. Taikiniai yra aušinami vandeniu- ir pritvirtinami naudojant greito spaustuko sandariklius, todėl taikinius galima pakeisti per 45 minutes.
Kl .: Kokie yra įrenginio komunalinių paslaugų reikalavimai?
A: Atšaldytas vanduo (8–15 m³/h, 18–22 laipsniai, 0,2–0,3 MPa), suslėgtas oras (0,6 MPa) ir stabili 3 fazių pramoninė galia.
Kl.: Ar galima perkelti esamus proceso receptus?
A: Taip. Siemens IPC platforma leidžia tiesiogiai įvesti lanko srovės, poslinkio įtampos, dujų srauto ir trukmės parametrus, kad atitiktų esamus pramoninius receptus.
Populiarus Žymos: katodinio lanko plonasluoksnė įranga, Kinijos katodinio lanko plonasluoksnės įrangos gamintojai, tiekėjai, gamykla
